AWM40000系列 质量流量传感器

AWM40000系列质量流量传感器

AWM40000系列质量流量传感器

常用型号：

AWM42150VH 

AWM42300V 

AWM2200V 

AWM2300V

描述 ： 

AWM40000 系列质量流量传感器家族基于可靠的微桥技术，包括放大信号调理设备类型和无放大仅传感设备类型。 

使用无放大设备类型时（AWM42150VH 和 AWM42300V），图 1 所示的发热控制电路和图 2 所示的传感桥供电电路在相应操作中均需使用。这两套电路在传感器中未装配，应用中需另加。图 3 中的差分放大器电路可有助提高输出增益和 / 或调节传感器输出电压偏移。

放大设备类型（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高输出增益和调节电压偏移。差分放大器电路、发热控制电路和传感桥供电电路在放大传感器中均已装配。

特点 

● 歧管安装 /o 型圈密封 

● 陶瓷流量管（无引气管），0-1000 sccm 

● 塑料流量管，0-6 SLPM 

● 高共模压力（陶瓷流量管时适用，150 psi） 

● 工作温度可达 125℃（无放大时适用） 

● 零点和满量程时均保持高稳定性

 



注 ： 

1. 从 10-90% 响应时间一般为 1 毫秒。 

2. 重复性与迟滞性容差反映了测量设备固有的不精度。 

3. 为避免损坏，允许流量变化率为 5.0 SLPM/1.0 sec。